半導(dǎo)體晶圓凈化車(chē)間設(shè)計(jì)布局要點(diǎn)

半導(dǎo)體器件晶圓的?產(chǎn)工藝，易受外來(lái)物灰塵粒?、?屬離?等的影響?破壞表?結(jié)構(gòu)，這種特性也決定了圓晶在其制造過(guò)程中必須有環(huán)境空氣潔凈度的要求。同時(shí)，在半導(dǎo)體晶圓的測(cè)試過(guò)程中，測(cè)試間也必須置于潔凈室中，潔凈度的控制同樣重要，環(huán)境空氣潔凈度控制不好，會(huì)導(dǎo)致空?中的含塵量過(guò)?，從?導(dǎo)致污染物的增加，進(jìn)?影響到測(cè)試的準(zhǔn)確度、穩(wěn)定性。嚴(yán)重還會(huì)導(dǎo)致探針測(cè)試卡的損壞。

潔凈室最主要的功能就在其能控制產(chǎn)品（如硅芯?等）所接觸空氣的潔凈度及溫濕度，使產(chǎn)品能在?個(gè)良好的環(huán)境空間中?產(chǎn)。在晶圓凈化車(chē)間中，為了解決晶圓測(cè)試中良率不佳、測(cè)試結(jié)果不穩(wěn)定，探針測(cè)試卡的損毀及晶圓的報(bào)廢這些問(wèn)題，潔凈車(chē)間及輔助凈化間的設(shè)計(jì)就該是凈化?區(qū)建設(shè)的?要任務(wù)之?。

越是?的晶圓?產(chǎn)企業(yè)，對(duì)整個(gè)???動(dòng)化、智能化程度要求越?，所以對(duì)半導(dǎo)體潔凈?產(chǎn)車(chē)間，動(dòng)輒?百億投資的晶圓?區(qū)做怎樣的合理規(guī)劃、系統(tǒng)架設(shè)以提?整個(gè)潔凈??的空間利?率、減少機(jī)臺(tái)的閑置時(shí)間、提升產(chǎn)品的良率是凈化設(shè)計(jì)的重中之重。

《硅集成電路芯???設(shè)計(jì)規(guī)范》、《建筑設(shè)計(jì)防?規(guī)范》《電??業(yè)潔凈?房設(shè)計(jì)規(guī)范》、《潔凈?房設(shè)計(jì)規(guī)范》這四?規(guī)范作為晶圓車(chē)間設(shè)計(jì)的主要規(guī)范。晶圓車(chē)間對(duì)?產(chǎn)環(huán)境的溫度、濕度、潔凈度、防微振等均有著嚴(yán)格的控制要求，且各種配套系統(tǒng)十分繁多復(fù)雜。?多數(shù)FAB??車(chē)間分為四層結(jié)構(gòu)，從上?下分別為：上技術(shù)夾層，潔凈?產(chǎn)層，潔凈下技術(shù)夾層和?潔凈下技術(shù)夾層，設(shè)計(jì)指標(biāo)及參數(shù)要點(diǎn)如下：

1. 因其對(duì)?產(chǎn)環(huán)境的恒溫恒濕的控制要求較?，普遍溫度控制在22℃±1℃，相對(duì)濕度控制在43%±3%；

2. ?產(chǎn)?環(huán)境的空?潔凈等級(jí)為千級(jí)（ISO 6級(jí)）；

3. 光刻等特殊區(qū)域的空?凈化等級(jí)?級(jí)（ISO 4級(jí)）；

4. 規(guī)范要求空?凈化等級(jí)（ISO 1-4級(jí)）的凈化室采?垂直層流：上技術(shù)夾層（送風(fēng)靜壓箱）中的空?通過(guò)FFU（風(fēng)機(jī)過(guò)濾機(jī)組）輸送?潔凈?產(chǎn)層，?流通過(guò)?架地板及華夫板孔洞送?潔凈下技術(shù)夾層，再經(jīng)過(guò)回風(fēng)夾道中的DCC(?冷盤(pán)管)回到上技術(shù)夾層，循環(huán)往復(fù)。

此外FAB??會(huì)使??量的易燃易爆、毒性化學(xué)品，且種類(lèi)繁多，因此凈化車(chē)間設(shè)計(jì)師在設(shè)計(jì)過(guò)程中，要格外注意根據(jù)規(guī)范設(shè)計(jì)甲?類(lèi)?體、危險(xiǎn)化學(xué)品甚?惰性?體的存放和分配間，應(yīng)靠廠房的外墻布置，且酸性、堿性、有機(jī)類(lèi)化學(xué)品存放收集間相對(duì)應(yīng)的室外，還應(yīng)預(yù)留?夠的槽罐車(chē)裝卸場(chǎng)地?積。

同時(shí)，需要配合與消防設(shè)計(jì)，消防作為FAB??設(shè)計(jì)的難點(diǎn)和痛點(diǎn)，防?分區(qū)設(shè)計(jì)、防泄爆設(shè)計(jì)、專(zhuān)?消防?的設(shè)置與凈化廠房布局相協(xié)調(diào)達(dá)到符合規(guī)范的合理設(shè)計(jì)方案。