在潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范GB50073-2001中,給潔凈室三種狀態(tài)做了以下定義,分別為空態(tài)、靜態(tài)和動態(tài)。那么凈化工程師在進(jìn)行潔凈廠房潔凈等級設(shè)計(jì)時(shí),就要明確設(shè)計(jì)目標(biāo)最終是在潔凈室什么狀態(tài)下達(dá)到潔凈等級,才能選型相關(guān)通風(fēng)凈化設(shè)備及凈化材料,以確保符合用戶的生產(chǎn)使用需求環(huán)境。下面,旗興工程師分別對3種狀態(tài)的定義做介紹,已經(jīng)在不同狀態(tài)下進(jìn)行潔凈室檢測具體要求。
空態(tài) as-built潔凈室測試---設(shè)施已經(jīng)建成,所有動力接通并運(yùn)行,但無生產(chǎn)設(shè)備、材料及人員。
靜態(tài) at-rest--設(shè)施已經(jīng)建成,生產(chǎn)設(shè)備已經(jīng)安裝,并按業(yè)主及工藝商同意的狀態(tài)下運(yùn)行,但無生產(chǎn)人員。
動態(tài) operational--設(shè)施已規(guī)定的狀態(tài)運(yùn)行,有規(guī)定的人員在場,并在商定的狀態(tài)下進(jìn)行工作。
在ISO14644中規(guī)定將潔凈室檢測階段劃分如下:
空態(tài)潔凈室的檢測——Installation qualificafion(IQ)
靜態(tài)潔凈室的檢測——Operational qualificafion(OQ)
動態(tài)潔凈室的檢測——Performance qualificafion(PQ)
空態(tài)潔凈室的檢測(IQ)
檢查空態(tài)潔凈室和安裝的設(shè)備是否符合設(shè)計(jì),至少要檢查下列各點(diǎn):
1、潔凈室設(shè)備的成套性;
2、一切能源載體和工藝介質(zhì)的供應(yīng)(水、電、蒸汽、壓縮空氣、氣體等)是否符合設(shè)計(jì);
3、公用和輔助設(shè)備功能運(yùn)轉(zhuǎn)是否正確;
4、所以控制系統(tǒng),監(jiān)控器,報(bào)警和警報(bào)器等的檢定(檢查)日期;
5、安裝質(zhì)量;
6、安裝過濾器(最終過濾器)的完整性;
7、電源和設(shè)備是否有備份,其中包括空氣處理設(shè)備的風(fēng)量余量;
8、壓差;
9、氣流特性(單向氣流——流速,均勻性和氣流方向);
10、維護(hù)結(jié)構(gòu)的密閉性;
11、檢查循環(huán)空氣與室外空氣的比例是否符合設(shè)計(jì);
12、表面潔凈度;
13、包裝中是否有備件。
檢查HEPA(ULPA)過濾器的完整性具有重要意義,此項(xiàng)檢查對ISO6級、ISO5級及更高級別的潔凈室來說尤其必要。應(yīng)檢查表面潔凈度及維護(hù)結(jié)構(gòu)的密閉性(對ISO1級~ISO5級的潔凈室特別重要)。
靜態(tài)潔凈室的檢測(OQ)
本階段的檢測至少應(yīng)完成下列各項(xiàng)工作:
1、確認(rèn)潔凈區(qū)劃分原則是否符合要求;
2、確定潔凈室在經(jīng)過污染水平升高后的自凈時(shí)間參數(shù);
3、確定保持溫度和相對濕度的穩(wěn)定性;
4、按粒子數(shù)確定潔凈度級別;
5、確定壓差;
6、在必要的場所應(yīng)按粒子和微生物污染水平確定表面的潔凈度;
7、確定照度;
8、確定噪聲級;
9、利用必要的工具目視檢查氣流并檢查換氣次數(shù)(必要時(shí));
10、將取得數(shù)據(jù)結(jié)果寫成書面文件。
動態(tài)潔凈室的檢測(PQ)
為了評估動態(tài)潔凈室工作的穩(wěn)定性:
1、驗(yàn)證潔凈室分割制度;
2、評估將溫度和相對濕度保持在規(guī)定范圍內(nèi)的能力;
3、按粒子數(shù)檢查潔凈度級別并確定空氣中的微生物濃度(必要時(shí));
4、驗(yàn)證壓差;
5、按粒子數(shù)和微生物數(shù)量確定表面潔凈度(必要時(shí));
6、檢查潔凈室運(yùn)行文件的成套性,其中包括參數(shù)的檢查方法,潔凈室工作事故及采取的措施等,是否有基本的規(guī)程,如潔凈室清掃、更衣、人員衛(wèi)生等方面的規(guī)程等;
7、檢查人員是否經(jīng)過培訓(xùn),是否有培訓(xùn)體系和相應(yīng)的文件;
必要時(shí)還要檢查振動強(qiáng)弱,空氣電離程度,電磁場強(qiáng)度。可根據(jù)潔凈室的特點(diǎn)改變測試的具體內(nèi)容。
在使用過程中,應(yīng)對潔凈室的參數(shù)進(jìn)行日常監(jiān)控,監(jiān)控要有一定的周期性,潔凈室用戶可根據(jù)規(guī)范文件的要求確定這種周期性
檢測可在潔凈室工作過程中進(jìn)行(重復(fù)檢測);
發(fā)生下列各項(xiàng)后需進(jìn)行重復(fù)檢測:
1、潔凈室達(dá)不到給定參數(shù)的原因已消除;
2、與使用條件例如潔凈室的使用有較大差異(如改變工藝流程等);
3、空氣長時(shí)間停止流通(進(jìn)風(fēng))而影響潔凈室工作;
4、做了影響潔凈室工作的個別維護(hù)或修理工作,如更換HEPA過濾器以后。