潔凈室的循環(huán)送風(fēng)是通過高效（亞高效）過濾器過濾后進(jìn)入無塵潔凈室內(nèi)的，可以視為無菌空氣，但這一過程并沒有殺菌作用。只要室內(nèi)有人員的活動就可能產(chǎn)生塵菌，人的皮膚由于新陳代謝會不斷脫落皮屑，這可為微生物生存和繁殖提供營養(yǎng)源，在適宜的溫濕度條件下，會使微生物迅速繁殖。潔凈室最有效除菌方法是采用凈化空調(diào)系統(tǒng)，但是凈化空調(diào)系統(tǒng)不能提供潔凈室內(nèi)的起始無菌狀態(tài)，用消毒滅菌的方法可彌補(bǔ)這一缺陷。因此，每間潔凈室都應(yīng)該有完善的消毒滅菌制度，以保證室內(nèi)的潔凈無菌環(huán)境。

醫(yī)藥、生物、食品、醫(yī)院等無塵潔凈室對塵菌控制要求更為嚴(yán)格，這些行業(yè)和場所應(yīng)用無塵潔凈室可設(shè)計安裝消毒滅菌設(shè)備進(jìn)行殺菌，如紫外線燈照射，臭氧滅菌等。根據(jù)潔凈室使用特點來確定消毒滅菌方法和周期，有的需要每日消毒，而有的潔凈室每周消毒一次即可。

紫外線滅菌燈照射，屬于電磁輻射消毒法。影響紫外線殺菌的主要因素有：1. 燈管使用時間：一般使用時間為1000H，定期用儀器檢測燈管的輸出強(qiáng)度，新燈管紫外線強(qiáng)度大于 90UW/CM2, 當(dāng)燈管紫外線強(qiáng)度低于70UW/CM2，應(yīng)予更換。2.環(huán)境溫濕度：適宜溫度為 20℃ ，一般相對濕度在40%-60%紫外線殺菌效果最好，當(dāng)環(huán)境濕度高于80%，對紫外線燈除菌影響較大，甚至對細(xì)菌有激活作用。3 照射距離：照射距離與滅菌效果成反比關(guān)系，在距燈管中心近距離范圍內(nèi)，照射強(qiáng)度與距離成反比。4. 紫外線只能對靜止的物體有滅菌作用，對流動空氣的意義不大，在組合式凈化空調(diào)機(jī)組停運(yùn)時，紫外線照射也可以作為機(jī)組消毒的一種手段。

臭氧殺菌，臭氧在常溫下是強(qiáng)氧化氣體，也是一種廣譜殺菌劑。可以用于殺滅細(xì)菌及其芽孢、病毒及真菌，也被廣泛用于潔凈室內(nèi)部殺菌。由于臭氧是極不穩(wěn)定的氣體，在常溫下會自行分解成氧氣，故不能儲存。一般都是通過臭氧發(fā)生器現(xiàn)場制備，臭氧為強(qiáng)氧化劑，其殺菌能力極強(qiáng)，對人體及室內(nèi)某些物體也有損害，所以使用高濃度臭氧殺菌，只能在房間無人狀態(tài)進(jìn)行，殺菌結(jié)束30 分鐘以后才允許人員進(jìn)入。